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 特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽(yáng)能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路，應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏，長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類(lèi)別中的電子氣體，

 特種氣體分類(lèi)：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體，對(duì)于不同類(lèi)別的氣體，純度指標(biāo)不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路，應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏，長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

20 世紀(jì) 80 年代，電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動(dòng)特種氣體的需求提高，隨著氣體供應(yīng)商供氣模式的引入，國(guó)內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車(chē)間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨(dú)立的氣體公司，國(guó)內(nèi)特種氣體市 場(chǎng)逐步發(fā)展起來(lái)。特種氣體種類(lèi)：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體種類(lèi)：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。